mlase工業(yè)用緊湊型激光器

MLase激光器覆蓋波長(193納米、248納米、308納米)，能量范圍每脈沖200毫焦耳或脈沖重復(fù)率達(dá)1000赫茲

MLase的激光器服務(wù)于的工業(yè)過程。通過模塊化設(shè)計方法，

波長:193納米、248納米(可根據(jù)要求提供其他波長:157納米、308納米、351納米)

水冷選項

重復(fù)率可達(dá)1 kHz

MLase這些激光器的工業(yè)應(yīng)用包括:

光纖布拉格光柵的寫入(FBG)

光學(xué)檢測和計量，如測試微光學(xué)器件

激光結(jié)構(gòu)化和劃線

陶瓷、金屬或塑料等材料的微加工

激光燒蝕/脈沖激光沉積(PLD，ICP-MS)

在用于檢查掩模或直接晶片處理的半導(dǎo)體制造中

產(chǎn)品型號：

MLI-500 KrF LC

MLI-500-KrF FBG

MLI-ARF 1000LC

MLI 500 KrF FBG LC

MLI-ARF 1000

MLI 500 KRF

MLI 500 ArF LC

MLI-ArF-200

MLI- 500 ArF

mlase ag是紫外線工業(yè)產(chǎn)品提供商，2007年12月由TuiLaser AG的前員工創(chuàng)立以來。

可以提供MLI激光器的產(chǎn)品技術(shù)資料，安全技術(shù)資料，操作說明，維修手冊，工廠能提供原產(chǎn)地證明。

1.MLI 系列設(shè)備為工業(yè)應(yīng)用提供具有直接波長的激光器。。由于均勻的光束輪廓和能量穩(wěn)定性。

2.MLI 系列激光器是 193 nm 或 248 nm 的紫外光源，具有達(dá) 16 mJ 的脈沖能量和1,000 Hz 的重復(fù)頻率。

3.如果需要，標(biāo)準(zhǔn)設(shè)置的激光器可以根據(jù)個人需求進(jìn)行調(diào)整。如：激光器可用的波長為 193 nm（氣體：ArF 氟化氬）和 248 nm（氣體：KrF 氟化氪）?？筛鶕?jù)要求提供其他波長如157nm等，也可以提供如功率版本HP

型號：

MLI-200 / 500 / 1000激光器

MLI-500LC / 1000LC激光

應(yīng)用領(lǐng)域：

工業(yè)應(yīng)用的激光器